被檢容器容易較小時，可以直接接到質(zhì)譜檢漏儀上去進行檢漏，但是當被檢容器的容積在100m以上時，由于容積大，氣量多，表面積大，放氣多，漏孔也可能較多，若直接用質(zhì)譜檢漏儀的抽氣系統(tǒng)來抽，可能長時間也抽不上去，使得檢漏儀無法工作。即使長時間抽氣后能達到質(zhì)譜儀工作壓力，然后其反應(yīng)時間太長，也難以實現(xiàn)檢漏。因此需要加一個輔助系統(tǒng)，檢漏時，先用輔助泵將被檢容器抽到低真空后再用次級泵（擴散泵）抽，次級泵正常工作后，打開檢漏儀的節(jié)流閥，使給檢容器通過輔助系統(tǒng)與已抽至極限真空的檢漏儀相連，此時檢漏儀抽氣系統(tǒng)與輔助泵儀器作次級泵的前級，調(diào)節(jié)節(jié)流閥使檢漏儀處于工作壓力下，然后進行檢漏。檢漏時，如節(jié)流閥能全部打開且輔助閥能全部關(guān)閉*后，此時漏入系統(tǒng)的氦氣能全部通過檢漏儀，其靈敏度*高，一般情況都是輔助閥即不能全關(guān)，節(jié)流閥又不能完全打開，因此靈敏度要低很多。

想要了解更多關(guān)于檢漏儀，歡迎點擊：http://www.peak-fs.cn/s04/kim-mac/cpxx/20120808/15204518.html