將封裝好的器件放入密封實(shí)驗(yàn)箱，將光學(xué)干涉儀調(diào)整到觀測封裝的蓋帽。SDT檢漏儀然后將實(shí)驗(yàn)箱抽真空，同時用光學(xué)干涉儀觀測蓋帽是否變形。在視野內(nèi)，同時觀測每一只封裝的蓋帽是否隨壓力變化而變化。在減小的壓力下保持時間t1，其蓋帽有無繼續(xù)變形。如果開始時隨著實(shí)驗(yàn)箱壓力改變，未檢測到蓋帽變形，或在實(shí)驗(yàn)箱壓力保持恒定的情況下，SDT檢漏儀檢測到蓋帽變形，則器件粗檢漏不合格，應(yīng)該拒收。上述程序?yàn)楣鈱W(xué)粗檢漏。

該實(shí)驗(yàn)方法也用于細(xì)檢漏，其程序與粗檢漏類似。具體做法是，前半段與粗檢漏一樣。SDT檢漏儀在粗檢漏實(shí)驗(yàn)程序完成后，在對實(shí)驗(yàn)箱用氦氣加壓，壓力不大于2*10pa。然后用光學(xué)干涉儀在時間t2觀測其蓋帽是否變形。若有變形，則器件細(xì)檢漏不合格，應(yīng)該拒收。

想要了解更多關(guān)于檢漏儀，歡迎點(diǎn)擊：http://www.peak-fs.cn/s04/kim-mac/cpxx/20120808/15204518.html

分享到： QQ空間 新浪微博 騰訊微博 人人網(wǎng) 開心網(wǎng) 復(fù)制網(wǎng)址 百度貼吧 百度空間 更多