被檢容器容積較小時,可以直接接到質(zhì)譜檢漏儀上去進行檢漏。局部檢測儀但是當(dāng)被檢容器的容積在100m以上時,由于體積過大,凄涼多,表示積大,放氣多,漏孔也可能較多,若直接用質(zhì)譜檢漏儀的抽氣系統(tǒng)來抽,可能長時間也抽不上期,使得檢漏儀無法工作。即使長時間抽氣后能達到質(zhì)譜儀工作壓力,然而其反應(yīng)時間太長,也難以實現(xiàn)檢漏,因此需要加一個輔助系統(tǒng),局部檢測儀檢漏時,先用輔助泵將被檢容器抽到低真空后再次級泵(擴散泵)抽,次級泵正常工作后,打開檢漏儀的節(jié)流閥,使被檢容器通過輔助系統(tǒng)與已抽至極限真空的檢漏儀相連,此時檢漏儀抽氣系統(tǒng)與輔助泵一起做次級泵的前幾,調(diào)節(jié) 節(jié)流閥使檢漏儀處于工作壓力下,局部檢測儀然后進行檢漏。檢漏時,如節(jié)流閥能全打開且輔助閥能全部關(guān)閉*好,此時漏入系統(tǒng)的氦氣能全部通過檢漏儀,其靈敏度*高,一般情況都是輔助閥既不能全關(guān),節(jié)流閥又不能完全打開,因此靈敏度要低很多。
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